地震対策の事例

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THK 免震Webサイト > 地震対策の事例 >免震モジュールTGS型 半導体製造装置 精密機器
精密機器 -茨城県-

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    • ルネサスエレクトロニクス株式会社

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    導入のポイント

    免震モジュールTGS型は剛性が高い為、重量のある精密機器の搭載も可能です。また、薄型であるため、機器の操作性にも影響しません。

    使われている免震装置

    免震モジュール TGS型
    免震モジュールTGS型は、自由なレイアウトが可能。
    重量物の部分免震や床免震に対応できます。
    （搭載荷重：１㎡で最大3,000kg）
    詳しい解説はこちら arrow_forward_ios
    その他の使用例を知りたい