地震対策の事例

ソリューション実績

SOLUTION
THK 免震Webサイト > 地震対策の事例 >免震モジュールTGS型 半導体製造装置 精密機器 国内
精密機器

    • 精密機器
    • 国内
    • TGS
  • 半導体製造装置(拡散炉)

    ①製品名 免震モジュールTGS型 
    ②導入のポイント 免震モジュールTGS型は剛性が高い為、重量のある精密機器の搭載も可能です。また、薄型であるため、機器の操作性にも影響しません。
    ③お客様名 電機メーカー
    関連事例