THK 免震Webサイト > 地震対策の事例 >免震モジュールTGS型 半導体製造装置 精密機器
精密機器
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電機メーカー
導入のポイント
免震モジュールTGS型は剛性が高い為、重量のある精密機器の搭載も可能です。また、薄型であるため、機器の操作性にも影響しません。
使われている免震装置
TGS型
免震モジュールTGS型は、自由なレイアウトが可能。
重量物の部分免震や床免震に対応できます。
(搭載荷重:1㎡で最大3,000kg)
重量物の部分免震や床免震に対応できます。
(搭載荷重:1㎡で最大3,000kg)
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